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基本情况- 信息编号
- 所属行业电子工业专用设备
- 招标预算37万
- 项目地址福建-厦门-思明
- 业主单位
- 招标代理-
- 采购对象
- 磁控溅射镀膜机
信息情况：
投标截止时间：
2026-05-15开标时间：
2026-05-15
公告正文字号：
- 小
- 中
- 大
磁控溅射镀膜机（A-登录解锁）采购公告
| 项目名称 | 磁控溅射镀膜机 | 项目编号 | A-登录解锁 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 物理登录解锁 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后**个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ ******.** + NaN + NaN | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址****** | 海韵园科研**** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件
|
||
| 公告说明 | |||
采购清单
*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射镀膜机 | * | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 |
该仪器主要指标： * 设备通用指标 真空室尺寸：
Φ***mm×H***mm 整机尺寸：L****mm×W****mm×H****mm 整机重量：***Kg 溅射方向：靶在上，样品在下 磁控靶大 小及数量：φ* 英寸磁控靶 * 只 样片大小及数量：φ* 英寸 * 片 电源配置：****W 直流电源 * 台，***W 射频电源 * 台，- ***V 偏压电源 * 台 抽口大小：φ***mm 工艺气体： Ar、O*、N* *路 * 真空度指标 极限真空度：≤*.*×**-*Pa 系统漏率：≤*×**-*Pa·L/s 静态升压：系统停泵关机 ** 小 时后，真空度≤*Pa 抽气速率： 系统充干燥 N* 解除 真空，短时暴露大气后抽气至 *×**-*Pa≤**min 系统 充干燥 N* 解除真空，短时暴露大气后抽气至 *.*×**- *Pa≤**min * 工艺指标 溅射不均匀性≤±*％的均匀区： Φ* 英寸 溅射距离调节范围：*-**cm 靶角度调节精度：*° * 温度指标 样片表面最高温度：***℃ 控温精度：*℃ 温 度不均匀性：≤±*% |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
****-**-** **:**:**
相关附件：
附件信息
附件1.doc
相关单位招标单位（1）
学校 收藏 监控- 暂无联系人
信息时间线- 2026-05-12招标 招标公告磁控溅射镀膜机(A-WZBX1301)采购公告
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