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感应耦合等离子体刻蚀机（A-登录解锁）延期公告
| 项目名称 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | 项目编号 | A-登录解锁 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 物理登录解锁 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后**个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥ ******.** + NaN + NaN | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址****** | 海韵园科研**** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件
|
||
| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至****-**-** **:** | ||
采购清单
*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 感应耦合等离子体刻蚀机 | * | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 |
该设备主要指标： * 设备通用指标 真空室尺寸：
Φ***mm×H***mm 整机尺寸：L****mm×W***mm×H****mm 整机重量：***Kg 样片大小及数量：φ* 英寸样片 * 片或散片 多片 * 真空度指标 极限真空度：≤*×**-*Pa 系统漏率： ≤*×**-*Pa·L/s 静态升压：系统停泵关机 ** 小时后，真空 度≤*Pa 抽气速率： 系统充干燥 N* 解除真空，短时暴露大 气后抽气至 *×**-*Pa≤**min 系统充干燥 N* 解除真空，短时 暴露大气后抽气至 *×**-*Pa≤**min * 工艺指标 刻蚀不均匀 性：≤±*％（φ* 英寸范围内） 刻蚀距离调节范围：**- ***mm，自动调节 刻蚀距离调节精度：*mm * 温度指标 水冷台 工作温度：**℃-**℃ |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
****-**-** **:**:**
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附件信息
附件1.doc
相关单位招标单位（1）
学校 收藏 监控- 暂无联系人
信息时间线- 2026-05-22招标 招标公告感应耦***************************标公告
- 2026-05-18招标 招标公告感应耦合等离子体刻蚀机(A-WZBX1300)延期公告
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