深圳技术大学巴条机意向公开

采购单位:	深圳登录解锁
项目名称:	巴条机
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	其他仪器仪表
采购需求概况:	拟购置巴条机套 .巴条-划片机 . 晶圆尺寸：≥英寸向下兼容 .* 可划的最小芯片尺寸：**μm； .* X轴螺杆长度≥******程≥mm；Y轴螺杆长度≥****程≥mm； X&Y轴分解能≤.μm ;X&Y轴重复精度：***程范围 mm； .* θ轴:旋转范围：≥**°，分辨率≤.***°,精度 ±秒； ****程≥mm，分解能≤*****精度 ≤±μm,荷重~g； .* 图像对位系统：低倍率全视野+高倍率精确对位； .巴条-裂片机 .* 晶圆尺寸：≥英寸向下兼容； .* 可裂最小芯片尺寸：**μm； .* 裂片方式：自动影像对位裂片； . 劈刀（Z轴）：陶瓷劈刀，切入量.*~.mm，分解能≤μm，精度±μm，劈刀长度≥*mm； .* 受台/支撑台参数：受台间隔μm~mm，精度±μm； .* X轴参数：轴移动量≥**mm，分解能≤.μm，重复精度(移动mm时) ±μm ； . Y轴参数：轴移动量≥**mm，分解能≤.μm； .* θ轴参数：旋转≥**°，分解能≤.*°，精度±.°/°； . 图像对位系统: 低倍率全视野搜寻 + 高倍率精确对位； .* 配备*个裂片后手动排/卸巴工作台；
联系人:	吴登录解锁
联系电话:	登录解锁
预计采购时间:	**-
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

招标单位（1）

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