“铜蚀刻液组合物及其制备方法”等5项专利权

项目包含铜蚀刻液组合物及其制备方法、*种缓冲氧化腐蚀液制备装置、*种高纯过氧化氢的生产设备、*种正胶显影液自动配制装置、*种光刻胶剥离液自动配制装置*件专利。
铜蚀刻液组合物及其制备方法，本发明公开了*种铜蚀刻液组合物及其制备方法，有利于在集成电路的制造过程中，提高铜材料的表面平整度，同时破裂壁材和表面活性剂可以在铜材料侧面形成较为稳定的薄膜，从而起到较好的防侧蚀作用，侧蚀量显著降低；解决了蚀刻速率和侧蚀量难以兼顾的问题，所得产品质量明显提高。
*种缓冲氧化腐蚀液制备装置，本实用新型涉及*种缓冲氧化腐蚀液制备装置，其包括配制罐、表面活性剂储罐、氢氟酸储罐、氨气储罐以及成品罐，所述配制罐上设置有*个进料口，*个补料口与表面活性剂储罐、氢氟酸储罐以及氨气储罐**对应连通，明显提高了氨气的洗涤效果，从而提高了缓冲氧化腐蚀液产品的质量。
*种高纯过氧化氢的生产设备，本实用新型提供了*种高纯过氧化氢的生产设备，其特征在于从上至下设置有高位储罐，吸附树脂柱，离子交换树脂柱，中间储罐，纳滤膜组件，成品储罐；高位储罐出料口通过管道与吸附树脂柱上入口连接，并在管道上设有阀门K*；吸附树脂柱下出口与离子交换树脂柱上入口K*通过管道连接并设有阀门K*；离子交换树脂柱下出口与中间储罐入口连接并设有阀门K*；中间储罐连接有真空泵，和放空阀K*；中间储罐出口通过管道与中空纤维纳滤膜组件入口相连，管道上设有阀门K*和增压泵；中空纤维纳滤膜组件下出口与成品储罐入口相连，并在连接管道上设有阀门K*。本实用新型提供了*种高纯过氧化氢的生产设备，解决了传统过氧化氢提纯方法生产成本高、效率低，质量差的缺点。
*种正胶显影液自动配制装置，本实用新型涉及正胶显影液制备技术领域，具体是*种正胶显影液自动配制装置，包括有顶板配制罐******设有置放箱******设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有长杆，所述长杆的*端贯穿************外壁呈螺纹设******外壁与配制罐的内壁呈螺纹连接，所述长杆的两侧外壁均固定连接有多个搅拌杆，本实用新型通过搅拌组件的设置，对******充分的搅拌混合，具体是第*电机，第*电机带动转块转动，转块带动限位块转动，限位块带动弧形槽在滑轨内滑动，弧形槽带动长杆移动，长杆因为跟配制罐螺纹连接，长******转动，稳定提高配制的效率，确保产品质量，实用性强。
*种光刻胶剥离液自动配制装置，本实用新型涉及自动配置设备领域，具体是*种光刻胶剥离液自动配制装置，包括有配料罐，所述配料罐包括有搅拌箱和过滤******开设有空******设有搅拌组件，所述搅拌组件包括有两个螺纹******开设有两个螺纹孔，两个所述螺纹孔分别与对应螺纹杆螺纹连接，每个所述螺纹杆底端均固定连接有搅拌杆，所述搅拌组件还包括有电机，所******，所述电机输出端通过转轴固定连接有圆盘，通过搅拌组件能够在配制光刻胶剥离液时可以将原料充分混合，摆脱了原有的单纯旋转的混合状态，通过******旋转搅拌，能够充分提高混合效率，且保证混合的产品质量，从而提高整体配制的效率。

评估基准日：**** 年 ** 月 ** 日
价值类型：市场价值；
评估方法：收益法
评估结论：本资产评估报告选用收益法评估结果作为评估结论，具体评估结论如下：截止评估基准日 **** 年 ** 月 ** 日，在持续使用条件，相关假设和限制条件下，李祥庆持有的 * 项专利所有权评估价值为人民币*,***.***元。

*、本项目公告期即为尽职调查期，意向受让方在挂牌公告期间************全面了解，*经递交受让申请即表明已完全了解与认可标的状况及相关约定，******现状及瑕疵，并愿意承担*切责任与风险，不得以不了解标的状况为由撤销受让申请。
*、意向受让方在充分了解标的情况下，在项目挂牌公告期内向上海技术交易所递交受让申请，申请材料包括但不限于：主体资格证明、《意******简介、资质证明材料（符合受让方资格条件要求的）等；并在登记表中明确受让意向、交易方式、拟交易金额及付款条件等。
*、挂牌到期后，交易所向转让方出具书面函件告知意向受让方征集情况，反馈受让意向及方式，并安排后续交易流程。

*、意向受让方应为依法设立并有效存续的境内企业法人、其他经济组******为能力的自然人。 
*、意向受让方须财务状况良好、有信誉、有足够的支付能力。 
*、接受联合方式举牌受让，不接受委托（含隐名委托）、信托举牌受让。 
*、意向受让方应符合国家法律、法规规定的其他条件。