高真空电阻蒸发镀膜机(JJ20260293)采购公告-谛听招标网

高真空电阻蒸发镀膜机（JJ登录解锁）采购公告

采购清单 *

采购物品	采购数量	计量单位	所属分类
高真空电阻蒸发镀膜机	*	台	电池生产设备

品牌	泰科诺
规格型号	ZHD***
技术参数	.真空腔室：腔室尺寸≥Φ*Hmm，SUS优质不锈钢真空腔室，镀膜腔室（包括管道、**************理，以减少“出气”量，有利于真空度的提高及耐腐蚀，所有焊缝连接采用氩弧焊接***理； .基片台：不锈钢抽屉式结构，可从基片架组件中取出，基片台尺寸有效面积≥Φ**mm，基片可旋转，旋转转速～转/分钟，连续可调；主轴磁流体密封，基片台带有间接水冷温度℃至*℃可调； .蒸发源及电源：金属蒸发源：水冷铜电极≥组；金属蒸发源配套电源：功率≥KW，≥台； .真空系统： ≥**L/s高性能脂润滑分子泵抽速+≥L/s直联高速旋片式真空泵； .真空极限与抽速：极限真空度≤.×-Pa（设备空载，抽真空*小时）；抽速从大气抽至.×-Pa≤*min（设备空载）； .膜厚均匀性：≤±%（单源蒸镀，基片台Φ*mm范围内）； .膜厚监测系统：膜厚仪数量≥台，探头数量≥只，晶振片数量≥盒； .控制方式：PLC+触摸屏控制； .报警及保护：在缺水、水压过低等情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统； .配套产品：适配型号水机≥台
售后服务	电话支持:x小时;质保期限:年;响应时间:小*****全新未拆封正品;