无掩膜光刻机(A-WZBX1302)采购公告

无掩膜光刻机（A-登录解锁）采购公告

采购清单 *

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
无掩膜光刻机	*	台	无无

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预算单价	￥ ****.
技术参数及配置要求	.无需物理掩膜板； .直写分辨率模式：.μm，.μm，和 .μm 共计 * 个原位直写模式，且 * 种直写分辨率模式可通过软 * / 件自动切换，无需人工切换镜头； .最快直写速度（mm/min）：@.μm，@μm, **@μm； .对准及套刻精度：±um； .直写光源为 *nm，满足多样化光刻胶不同波长光源要求；光源功率：.W； .最大基片尺寸：*mm 直径；最大基片厚度：mm； .最大加工区域：mm×mm； .配有光学轮*****维成像，Z 向分辨率优于 nm; .配备 Focus-lock 自动对焦组件,可对表**** Z 向聚焦加工面自动调节； .配备自动标记识别功能，可快速自动识别特定图形标记图案。 .配备可视化虚拟电子掩膜版对准功能（VMA）； .带有同任务不同区域不同分辨率模式自动组合加工功能。 .配套特殊配置的计算机套；
参考链接
售后服务	商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

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