******上海技术物理研究所

地址*********号

*、采购项目名称：铟镓砷焦平面用读出电路晶圆

*、资金来源：项目资金，已落实

*、项目背景：

读出电路晶圆为短波红外焦平面探************上海技术物理研究所完成电路设计后，委托******生产加工，加工工艺的技术水平直接决定了读出电路最终的核心性能指标，从而影响整个红外焦平面的性能。

*、采用单*来源方式采购方式的原因及相关说明:

大阵列铟镓砷焦平面用读出电路规模为*********距**微米，整个电路尺寸约为**mm×**mm。该尺寸远超过现有典型的CMOS流片工艺单次Stepper曝光最大尺寸，因此须采用多次曝光/光刻的Stitching缝合流片工艺，其技术风险和难度较大。

在读出电路开展设计时************具体工艺技术对接和详细设计。项目超大规模读出电路工艺指标、定制化专有工艺约束，需要具备全套******业专家技术论证，可实现本项目加工的供应商为无******。为了降低电路流片失败风险，避免重复流片造成的制造成本增加，有效保障短波红外探测器研制任务的质量和进度，特申请采用单*来源方式采购。

供应商名称：无******

地址******路*号

*:公示意见：****年*月*日至****年*月**日

潜在采购供应商对公示内容有异议的，请在公示期内以书面形式(包括联系人、地址*********上海技术物理研究所（z***************sitp.ac.cn）

*、采购人联系方式

地址*********号

联系人：祝老师

联系电话：***-********