等离子增强气相沉积采购项目意向公开

采购单位:

某单位

项目名称:

等离子增强气相沉积采购项目

预算金额（*元）:

***

采购品目:

A******** 电子工业生产设备

采购需求概况:

为满足低温成膜工艺研发需求，现拟采购*套等离子增强气相沉积设备。该设备为器件制备核心工艺设备，可实现SiO*、Si*N*、SiON、非晶硅、SiC等典型介质及半导体薄膜的低温沉积。

联系人:

徐老师

联系电话:

****-********

预计采购时间:

****年*月

备注:

无